用时不到两年半：英特尔 High-NA EUV 晶圆处理量突破百万片，超越其他厂商总和

📋总体概括

英特尔宣布其High-NA EUV光刻设备累计处理的300mm晶圆突破一百万片，从首台设备完成组装到达成该里程碑用时不到两年半。2025年2月其累计处理量仅约3万片，至2026年9月已超百万片，增长迅猛。英特尔目前拥有两台ASML Twinscan EXE:5000原型机及至少一台EXE:5200B量产机型。ASML财报显示2026年一季度全球High-NA EUV累计处理晶圆刚超50万片，意味着英特尔一家的处理量已超过全球其他用户总和，在High-NA EUV工艺导入上明显领先同行。