国内首台！华海清科全自动板级CMP量产装备出机 已发往先进封装产线

📋总体概括

华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机，发往先进封装产线投入量产，成为国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备。该装备针对大尺寸板级封装工艺设计，具备全板面均匀性与低缺陷抛光能力，支持智能终点检测与多工艺模式切换。此次出机标志着我国板级封装核心工艺装备从研发走向应用，在CoPoS、FOPLP、TGV等先进封装需求快速增长的背景下，为产业链自主化提供关键装备支撑。